湖北化工蓄热式焚烧炉技术

半导体行业的VOCs废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等。在这些工艺中，要用有机溶液(如异丙醇)清洗晶片表面，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时，光刻和蚀刻中使用的光刻胶(光致抗蚀剂)含有挥发性有机溶剂，如醋酸丁酯，在晶片加工过程中也会挥发到大气中，是有机废气的另一个来源。 半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中，这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前，吸附、焚烧或两种方法的组合通常用于这种气体排放。一般用沸石轮吸附，蓄热式焚烧炉焚烧。 焚烧也应用于半导体工业，处理各种有机废气，并通过热氧化将有机物质转化为CO2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法，有稳定的流量和浓度。在热氧化中，有机废气流被加热，气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用，通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量，以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。因为半导体行业废气焚烧会产生SiO2，使催化剂钝化，所以接触氧化很少用于半导体行业！一直致力于空气净化技术的研发与设计！湖北化工蓄热式焚烧炉技术

蓄热式焚烧炉是一种高效的有机废气处理设备。其工作原理是将有机废气加热到760摄氏度以上，使废气中的挥发性有机化合物(VOCs)被氧化分解为二氧化碳和水。 氧化过程中产生的热量储存在特殊的陶瓷蓄热器中，加热到“蓄热”。 陶瓷蓄热体储存的热量用于预热后续的有机废气，这是陶瓷蓄热体的“放热”过程，从而节省了废气加热过程中的燃料消耗。 大量工程应用表明，三床蓄热式焚烧炉对VOCs的分解效率可达99%，综合热效率可达95%，进出口温差约为40，阀门开关时排气管压力波动为25pa。 三床蓄热式焚烧炉的VOCs浓度不能超过5g/m3，否则会超过京沪当地的排放标准。 此外，由于其比表面积大，自身运行散热也大，减少了可再利用的余热！广东三箱蓄热式焚烧炉生产厂家我公司可以生产市面上所有的废气热氧化装置。。。！

由于RTO运行温度超过760℃，RTO内部还可能因为工艺的不同存在一定程度上的金属材料接触高温区域，这时，还可能产生高温气体腐蚀，所以腐蚀又可以分为干腐蚀和湿腐蚀。湿腐蚀很好理解，因为RTO低温烟气管道本身排烟温度大都低于100℃，达到了水的结露温度以下，极易形成水溶液状态的湿腐蚀环境；而RTO干腐蚀则是指干气体（通常是在高温）或者非水溶液中的腐蚀。对于RTO系统有时也会涉及PP和FRP等非金属材料，对于这些非金属材料多半产生单纯的化学或者物理腐蚀，有时两种同时产生。本文主要对金属材料的腐蚀情况进行分析。 一般来讲，RTO常用材料选择铁基金属和合金，这些材料中的铁或被氧化成铁锈，同时释放能量，部分不锈钢则是通过在金属表面形成一层富铬钝化膜，阻止或者减缓腐蚀反应的发生。 这些工况在医化行业已经是常态，对于RTO设备来说，避免或者减缓腐蚀的发生也是一项重要的工作。 国内RTO市场发展太快，RTO企业技术水平发展良莠不齐，片面追求利润，使用单位拼命地降低采购预算，这使得使用单位和供应商单位都付出了大量的试错成本，有些至今未能很好解决，更有甚者发生不可控的安全事故。

二恶英通常是指一组结构和理化特性相似的多氯平面芳香化合物，属于含氯含氧三环芳香化合物，包括75种多氯二苯并对二恶英和135种多氯二苯并呋喃，缩写为PCDD/Fs，属于强致病物质。考虑到二恶英的巨大危害性，北京、上海等大气污染排放标准中的要求普遍较高，排放浓度限值定为0.1ng-TEQ/m3。 二恶英是VOCs尤其是有机化工行业VOCs废气焚烧过程中令人担忧的二次污染物。由于其废气中含有卤素，在焚烧过程中容易产生二恶英污染物。当然，很多企业的焚烧炉，比如蓄热式焚烧炉，都尽量避免停留时间在容易产生二噁英的温度，或者在末端配备活性炭吸附装置，进一步降低可能产生的二噁英含量。但是，我们还需要特别注意标准排放值。是这个行业RTO投入运行至今，已经过去了40多年！

将可燃气体检测仪的分析信号、压力信号接入蓄热式焚烧炉RTO的编程控制系统，正常投加相关逻辑，各程序具备控制阀的程控电气、气体信号，可燃气体浓度，用空气强制稀释或直接排放； 调整各参数的设定，使RTO处于自动运行状态。 制定符合企业实际生产情况的安全操作规程和运行管理制度，培训员工进行开、停及紧急状态的操作 做好检查记录，地线、道岔、断路器、酸(碱)处理单元、RTO公用工程等的检查维护； 同时统一管理生产中的工作，避免各厂(工段)同时投料、同时蒸)精馏，含有机物废气集中排放，尽量保持废气浓度、气量相对稳定； 定期检查(标准)各传感器，如温度、压力、液位、pH计、可燃气体检测器等，确保RTO运行处于程序控制状态。 目前，由于RTO系统在运行使用中设计基础资料不完整，设计本身存在缺陷，程序控制主要集中在RTO主机上，不含可燃气体检测信号； 也有操作失误导致的火灾、爆燃等安全问题。 企业和RTO供应商在设计初期应做好基础资料的收集、确认、利用，提高RTO本身的安全设计水平，同时企业应加强对RTO的操作、维护、管理，及时消除风险，确保安全。这个行业RTO投入运行至今已经过去了40多年。江苏涂料蓄热式焚烧炉维修

RTO燃烧器的调节比达到1:20，实时且准确的调节温度。湖北化工蓄热式焚烧炉技术

蓄热式焚烧炉的陶瓷纤维内衬采用1260陶瓷纤维模块和1260陶瓷纤维毯对陶瓷蓄热室和燃烧室进行隔热。陶瓷纤维折叠模块的排列是“并排”的，即沿着模块的压缩尺寸排列。在纤维模块之间对折一层20mm厚的陶瓷纤维毯并压紧，在纤维模块中插入U型钉，间距500~700mm用来固定，以补偿纤维非膨胀面可能的收缩。这种结构可以避免“拼花地板”排列方式中因边角膨胀不均匀导致的纤维模块“花心”现象，达到良好的保温隔热效果。在安装炉顶衬里层的过程中，使用快速卡与模块配合，用螺栓临时固定。在RTO炉陶瓷纤维内衬的热面上陶瓷纤维模块表面涂两遍固化剂，既能抵抗水蒸气，又能抵抗高风速下的烟气冲刷，从而延长保温内衬的使用寿命！湖北化工蓄热式焚烧炉技术