真空蒸镀设备厂家直供

蒸镀机的基本原理：（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。（3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远低于蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）是在真空条件下，加热蒸发容器中待蒸发的材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入社到衬底或基底表面，凝结成固态薄膜的方法。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。真空蒸镀设备厂家直供

真空镀膜机在塑料表面镀铝有哪些优点?真空镀膜机是塑料表面蒸发镀铝的专门的设备。成膜速度快，成膜性强，色泽鲜艳，不易污染。电镀设备可获得纯度高、膜厚均匀、致密、无废液和废水，可防止环境污染。是进行大规模生产的理想设备。真空镀膜机市场应用广，主要应用于汽车反光网、工艺品、首饰、鞋帽、挂钟、灯具、装饰等行业。主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备组成。真空制备的镀层能防止镀层材料和镀层零件的表面污染，消除空间碰撞，提高镀层的细度，制备出具有单一化合物特殊功能的镀层。为了提高涂层厚度的均匀性，采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有良好的涂膜均匀性、良好的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力，并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式，排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。乌鲁木齐蒸镀机系列-FS-G1-3真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业。

真空镀膜机怎样除尘？1、粗除尘（金属网除尘器），金属网除尘器的基本版本是钢屑过滤器，其结构比较简单，是一种结构简单的装置，将金属切削屑装入金属丝网袋中。安装在镀膜真空室的管道出口处，便于取出和推进。这种除尘器的尺寸一般为20-60厘米。其工作原理是依靠芯片的机械阻隔作用，可以起到去除灰尘中一些较大颗粒的作用，同时也有一定的冷却效果。在后来改进的金属网除尘装置中，在储油器中安装了部分泵油，这样气流中的大部分粉尘颗粒就可以在油中被去除，而没有粘附在油面上的粉尘颗粒则被金属网除去。2、精细除尘（油膜除尘器），真空镀膜机气缸内装有带孔的多层金属膜片，膜片上装有金属或陶瓷环，气缸上装有带循环油泵的喷油环喷嘴，使气流经过时灰尘能被油膜附着。不仅具有良好的除尘能力，而且具有良好的气体冷却效果。

蒸镀机的操作步骤：1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上，插好电线，打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开，使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式，其余参数不需要设置，值设置除气时间，在0～60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态，真空度达到9×10-5mbar是，可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化，蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮，当“Current”显示为8是就要通知旋动，稍等片刻钨篮就会发红，开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后，按“STOP”键，停止抽真空，然后打开盖子取出样品，关闭主机电源盒气源。真空镀膜机中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。

真空镀膜机扩散泵维修与保养：1、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用清水进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。2、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。3、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。乌鲁木齐蒸镀机系列-FS-G1-3

真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。真空蒸镀设备厂家直供

真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。真空蒸镀设备厂家直供

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