真空蒸镀机设备厂家供应

时间:2023年03月13日 来源:

真空镀膜机成膜不均的因素有哪些?真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性,基片干净很重要。真空镀膜前要将基片表面认真清洁干净,达到工件去油、去污和脱水的目的。基板表面污染从零件在加工,运输等过程中附着的各种各样的灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等,在潮湿环境下,基片表面易氧化,形成氧化膜吸附气体。对于这些污物,都能用去油或化学方法清洗干净。干净的基片不要直接放在外面,需要用封闭容器存放,减少沾污。镀膜室内也是会积灰的,所以要清洗镀膜室内,烘烤除气,并将机器放置在干净的环境里。注意扩散泵返油,镀膜的原材料有很多,如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等,辅料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。真空镀膜机在镀膜的时候,需要镀层表面的化学成分保持均匀性。真空蒸镀机设备厂家供应

真空镀膜机的保养:每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法:用氢氧化钠(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。沈阳绝缘体蒸镀机真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。

真空镀膜机扩散泵维修与保养:扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,然后形成薄膜。扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态。

真空镀膜机的保养:真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上,抽速会明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。检查真空镀膜机电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V。沈阳绝缘体蒸镀机

真空镀膜机属于硬件设备,为了充分发挥其功能特点,还需要与之相结合的相应软件。真空蒸镀机设备厂家供应

如何处理真空镀膜机返油?1.启动电源主开关,这里需要注意的是电压和气压是否正常,另外冷却循环水势否大于1.5KG/cm2,这里需要先开冷却开关和水泵开关。2.启动扩散泵按钮时电流是否正常,以及扩散泵的下面是否有杂物,要是发现杂物要立即进行清理,正常情况下要预热一个半钟头才能进行抽真空。3.启动维持泵按钮,需要注意油和油位是否干净,皮带松紧是否合适。要是油位低于正常水平要及时进行加油。4.主泵按钮启动,在操作的时候要注意主泵有无异响和异味,油和油位是否干净,另外还需要检查马达皮带松紧是否合适,检测皮带松紧的标准是使用手压皮带下沉10—15毫米为准。5.关闭设备门进行抽真空,在进行这步操作的时候要注意粗转精抽切换是否正常,换向阀运行是否正常,以及各项参数、性能有无异常。需要做好记录,以备日后检修参考。6.充气,时间不可进行过长,正常情况下小于两分钟,同时需要注意开门和关门的时间,做好记录,一遍下回检修的时候进行参考。真空蒸镀机设备厂家供应

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