苏州真空烘箱

在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污整体成型硅橡密封圈，高真空度密封。苏州真空烘箱

维护保养：5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。11、点动电机，试看电机转向是否正确。12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。防止氧化真空烘箱PID调节本干燥器属于静态真空干燥器，故干燥物料的形成不会损坏。

    热对流真空烘箱，包括真空箱体和密封门，真空箱体的箱口采用法兰面，此面与箱体密封门紧密贴合，避免真空泄漏。真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板13、有孔镜面不锈钢板14，这两种不锈钢板组合配对装配，与无孔镜面不锈钢板14靠箱体内壁，有孔镜面不锈钢板13在箱体内表面，两钢板间距为5—15mm，无孔镜面不锈钢板用来反射热量，热量通过小孔回到箱体中，减少热量损失。在箱体顶部内壁设置有孔镜面不锈钢板12。箱体顶部和下部左右两边各设置有氮气进气口，可以实现氮气快速扩散到箱体内部各地方。真空箱体在工作的时候，真空度控制在10～50pa之间，温度控制在80～110℃，这样电池中的水份会变成水蒸汽扩散在箱体中，原箱体中也有少量的空气，真空干燥箱保温保压一段时间后，箱体中的水蒸汽达到一定的量后，为了将水蒸汽排出，需向箱体中充入氮气，因为氮气的分子质量比水蒸汽的分子质量大，为了能快速将水蒸汽排挤到箱体上方，方便将其从真空口抽出，所以在箱体下方布置2-3个进氮气进气口。这样的设置方式可以减少静置时间，氮气快速扩散，将水蒸汽排挤到箱体上方，再通过真空泵将水蒸汽抽出。真空箱体氮气进气口预先对氮气进行加热，因为氮气进到高温箱体中时。

    与普通干燥箱相比，真空烘箱突出的优势为它的加热方式。真空烘箱是四面安装有紧贴真空室外箱壁金属板的功率相同的电热丝，所以在电热丝在进行加热时，热量通过真空室的不锈钢金属壁辐射到工作室内，保证了工作室内的温度辐射热量相同，从而使得烘干中的物料保持均匀性。随着时间的推移和设备的使用，真空烘箱在工作中也暴露了许多缺陷。真空烘箱的维修很麻烦，对于电热丝烧断的维修，只能先把真空烘箱的大门拆掉，然后取下硅胶密封条并拆掉真空室的固定螺丝，再拆掉真空烘箱后面的盖板，取出所有的保温岩棉，拆卸出真空室。这样繁琐的步骤结束后才能更换新的电热丝并重新安装真空烘箱设备。此外，真空烘箱的温度上升慢、下降慢问题，给干燥工作带来一定的局限性，且真空实验结束后，还容易使得实验人员被真空室的四周金属壁烫伤，因此真空烘箱的安全性和人性化设计需要进一步改进。储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行，所以不会氧化。

金属整体热处理大致有退火、正火、淬火和回火四种基本工艺。退火→将工件加热到适当温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行缓慢冷却(冷却速度慢)，目的是使金属内部组织达到平衡状态，获得良好的工艺性能和使用性能，或者为进一步淬火作组织准备。正火→将工件加热到适宜的温度后在空气中冷却，正火的效果同退火相似，只是得到的组织更细，常用于改善材料的切削性能，也有时用于对一些要求不高的零件作为热处理。淬火→将工件加热保温后，在水、油或其它无机盐、有机水溶液等淬冷介质中快速冷却。淬火后钢件变硬，但同时变脆。回火→为了降低钢件的脆性，将淬火后的钢件在高于室温而低于710℃的某一适当温度进行长时间的保温，再进行冷却，退火、正火、淬火、回火是整体热处理中的“四把火”，其中的淬火与回火关系密切，常常配合使用，缺一不可。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。苏州真空烘箱

进口数显压力表，真空控制精度高，稳定性高。苏州真空烘箱

真空烘箱的真空泵-维护保养1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。苏州真空烘箱