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MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统 。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个**的智能系统。主要由传感器 、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费 电子、可穿戴 设备、智能家居、系统生物技术 的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

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    现在我们可以使数以万计的MEMS芯片（有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工）出现在了每一片wafer上面，如下图所示。这种批量生产（batchcess）的过程目前已经全自动化控制，隔离了人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。纳米技术本身的优势。曾几何时，微米和纳米技术被称为了科技的代言词，但大部分人根本不理解微米和纳米技术是什么。其实对于MEMS传感器来讲，比较大的优势是体积和表面积的比数值小（体积：表面积）。我们都知道体积是跟长度的三次方，而面积是长度的二次方。所以把一个MEMS器件等比例缩小的结果就是体积：表面积会缩小，这样会使得MEMS器件的信噪比增加（也就是有好处）。中国香港官方mems芯片性价比高

    在50s的时候，把目标液位设置为2米，液位下降，2秒后稳定到2米。说明PID完成了它原始的使命——作为控制器使用。PID作为信号跟随器——倾角传感器的设计这里倾角传感器的设计就不涉及到任何控制了。我们的目标是测量角度，硬件选用加速度计和陀螺仪构成。为了方便，我们只测量单轴角度，这里用2轴微电子加速度计和1轴微电子陀螺仪。陀螺仪的输出量是角速度，角速度积分就是角度，这不是用陀螺仪就能解决了吗？为什么还要加速度计呢？是因为陀螺仪输出的角速度包含有各种噪声，积分得到的角度会随着时间误差越来越大。具体的可以看下面的图像分析。上面左图是以1度/秒的角速度运动10秒，右图在角速度1度/秒的基础上加了±，可以发现在10秒后角度值为106度（图可能看不清），这是因为角度值的获取是通过角速度积分得到的，存在累计误差。而加速度计具备良好的稳定性，测量的偏移也很小，**重要的是它测量的角度没有累计误差。θ是加速度计测量的倾角。定义当测量角为0时，az沿着重力方向竖直向下，和重力加速度的关系是az=g*cos(θ)，ax垂直于az，和重力加速度的关系是az=g*sin(θ)。这就是加速度计测量倾角的原理。那既然加速度计没有累计误差，测量比陀螺仪更好。

    一般还内置有温度计进行实时的温度校准。汽车中的IMUIMU的应用IMU大多用在需要进行运动控制的设备，如汽车和机器人上，也被用于需要用姿态进行精密位移推算的场合，如潜艇、飞机、导弹和航天器的惯性导航设备等。与其他导航系统相比，惯导系统同时具有信息***、完全自主、高度隐蔽、信息实时与连续，且不受时间、地域的限制和人为因素干扰等重要特性，可在空中、水中、地下等各种环境中正常工作。例如，IMU的上述优势，在自动驾驶系统中表现的尤为明显。在自动驾驶系统中，IMU可作为其他传感器数据缺失时的有效补充。通过计算车辆的姿态（俯仰角和滚动角）、航向、速度和位置变化，IMU可用于填补GNSS信号更新之间的空白，甚至可在GNSS和系统中的其他传感器失效时，进行航位推算。因此，作为一个**的数据源，IMU可用于短期导航，并验证来自其他传感器的信息。有人说，自动驾驶系统在定位领域的***一道防线是IMU，主要原因有三个：首先，IMU对相对和***位置的推演没有任何外部依赖，是一个类似于黑匣子的完备系统；相比而言，基于GPS的***定位依赖于卫星信号的覆盖效果，基于高精地图的***定位依赖于感知的质量和算法的性能，而感知的质量与天气有关，都有一定的不确定性。

    惯性测量单元（Inertialmeasurementunit，简称IMU）被定义为“无需外部参考的可测量三维线运动及角运动的装置”，即测量物体三轴姿态角（或角速率）以及加速度的装置。惯性测量单元IMU的组成部分IMU由三个单轴的加速度计和三个单轴的陀螺仪组成，加速度计用来检测物体在载体坐标系统**三轴的加速度信号，而陀螺仪用来检测载体相对于导航坐标系的角速度信号、测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体的姿态。因此IMU在导航中有着很重要的应用价值。想象一个笛卡尔坐标系，形如下图所示，具有x轴、y轴和z轴，传感器能够测量各轴方向的线性运动，以及围绕各轴的旋转运动。这就是所有IMU的根本出发点，所有惯性导航系统都是据此而构建。加速度计加速度计测量加速度，利用的原理是a=F/M，测量物体的“惯性力”。加速度计在惯性参照系中用于测量系统的线加速度，但只能测量相对于系统运动方向的加速度（由于加速度计与系统固定并随系统转动，不知道自身的方向）。可以通过对加速度进行解算，求得角速度，但由于精度不高，不具有很好的使用价值。但是加速度计可以辅助陀螺仪进行角度解算。陀螺仪陀螺在惯性参照系中用于测量系统的角速率。湖北直销mems芯片

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    由于自己对步长的估计和实际走的距离存在误差，走的步数越来越多时，自己估计的位置与实际的位置相差会越来越远。走***步时，估计位置与实际位置还比较接近；但随着步数增多，估计位置与实际位置的差别越来越大。根据此方法推广到三维，就是惯性测量单元的原理。学术上的表述是：以牛顿力学定律为基础，通过测量载体在惯性参考系的加速度，将它对时间进行积分，且把它变换到导航坐标系中，就能够得到在导航坐标系中的速度、偏航角和位置等信息。因此，通俗来讲，惯性测量装置IMU属于捷联式惯导，该系统有三个加速度传感器与三个角速度传感器（陀螺）组成，加速度计用来感受相对于地垂线的加速度分量，速度传感器用来感受角度信息。值得注意的是，IMU提供的是一个相对的定位信息，它的作用是测量相对于起点物体所运动的路线，所以它并不能提供你所在的具**置的信息，因此，它常常和GPS一起使用，当在某些GPS信号微弱的地方时，IMU就可以发挥它的作用，可以让汽车继续获得***位置的信息，不至于“迷路”。IMU的分类目前来说，市面上存在的IMU以6轴与9轴为主。6轴IMU包含一个三轴加速度传感器，一个三轴陀螺仪；9轴IMU则多了一个三轴的磁力计。另外，对于采用MEMS技术的IMU。中国澳门直销mems芯片价格合理

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