浚和(上海)仪器科技有限公司

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苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点

时间:2020年12月11日 来源:浚和(上海)仪器科技有限公司

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch SA-CVDMetal-CVDPE-CVDLP-CVDALD

式样

SDE120TX

ZUI大排气速度(L/min

1500

达到压力(Pa

1.3

电源电压

3 AC200-220V

消费电力(KW

6.5KVA

吸气口

NW50

排气口

NW40

外型尺寸WHL [mm]

280×299×550

质量【kg

151kg

二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE120TX主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

那么干式真空泵的优势都有哪些呢?苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点


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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


南京樫山干式真空泵代理商浚和(上海)仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。

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日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE20M09X

MAX排气速度(L/min)

30000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

2.6KW

外型尺寸WHL [mm]

460×960×900



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE20M09X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。

螺杆干式真空泵特征:


  ①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。


  ②操作维护方便。

  ③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。

   ④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.

  ⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?

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樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用

    开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。

  

特 征

  ) 采用多段ROOTS方式抽气部分为非物理性接触构造

          不会因长时间的运行导致设备性能下降。


   ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。


  iii )  通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。


买日本樫山工业干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。深圳KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商

  ) 采用空气冷却,不需要冷却水。

您喜欢干式真空泵的这些特点吗?苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点

日本KASHIYAMA MU1218P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU1218P/H

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

1.4KW

外型尺寸WHL [mm]

870×380×751

质量【kg】

280kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU1218P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点

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