苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
式样 |
SDE120TX |
ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
达到压力(Pa) |
1.3 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
6.5KVA |
吸气口 |
NW50 |
排气口 |
NW40 |
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
那么干式真空泵的优势都有哪些呢?苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点
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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
南京樫山干式真空泵代理商浚和(上海)仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。
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日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE20M09X |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
2.6KW |
外型尺寸WHL [mm] |
460×960×900 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE20M09X主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您知道吗?
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樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
买日本樫山工业干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。深圳KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商
您喜欢干式真空泵的这些特点吗?苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA MU1218P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU1218P/H |
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
1.4KW |
外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
质量【kg】 |
280kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU1218P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 苏州NEODRY 15E干式真空泵维修点