防水光谱共焦位移传感器厂家

时间:2024年06月07日 来源:

本实施例中通过采用可拆卸连接便于导光光纤的维护和更换。所述的发光件可设置为一个或多个,当设置为一个时,导光光纤均传递一个发光件的光,这样会导致传递到探头壳体上的光较弱,从而导致光线的辨识度不高,因此本实施例中的所述发光件设置有多个,根据数量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中,所述的导光光纤设置有多个,发光件和导光光纤的关系为一一对应连接关系,多个导光光纤呈对称分布或圆周阵列分布在探头壳体的侧壁上,这样由导光光纤一一对应传递发光件产生的光,使光从探头壳体上发出后辨识度高。光谱共焦位移传感器需要专门的光谱共焦显微镜来实现测量。防水光谱共焦位移传感器厂家

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接收光纤,所述接收光纤的入光端固定设置在所述光谱共焦位移传感探头内,所述接收光纤的入光端用于选择性的接收所述光谱共焦位移传感探头传导的被测物体的反射光;光谱仪,所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端,所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,所述探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接;半透半反光学镜,所述半透半反光学镜固定设置在所述入射光纤的出光端的正下方;反光镜,所述反光镜固定设置在所述探头壳体的内侧壁上,所述反光镜用于反射所述半透半反光学镜所发出的反射光,所述接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。徐州光谱共焦位移传感器生产厂家哪家好光谱共焦位移传感器是一种高精度非接触式位移传感器。

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光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件,提示组件包括有:发光件,发光件设置在光源耦合器中;导光光纤,所述导光光纤的一端连接在光源耦合器中,且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上,所述导光光纤用于传导发光件所发出的提示光。进一步,入射光纤,接收光纤,导光光纤外表面套设有保护套,所述保护套一端固定设置在探头壳体内。采用上述方案的有益效果是:本实用新型提出的一种光谱共焦位移传感器,通过光源耦合器产生多色光源,多色光源在入射光纤中传导到光谱共焦位移传感探头内,通过光谱共焦位移传感探头内的透镜组和光学元件使多色光发生光谱色散,不同波长的单色光聚焦到不同的轴向位置,使波长与被测物体的位移产生对应关系;

准直镜组与色散聚焦镜组同轴设置,且准直镜组和色散聚焦镜组共焦点。这样,使准直镜组与色散聚焦镜组形成4F光学系统,进一步减小杂散光。准直镜组与色散聚焦镜组结构简单,易于加工装配和调整,同时实现准直镜组与色散聚焦镜组的轴向色散与波长有较好的函数关系的优点;例如,轴向色散与波长产生三次函数关系,有利于加快后续处理数据的运算速度。本实用新型的光谱仪包括有机壳,在机壳中固定设置有棱镜组,棱镜组位于接收光纤出光端的轴向上,棱镜组用于对反射光进行色散,在机壳内固定设置有聚焦透镜组,聚焦透镜组用于对色散后的光进行聚焦,位于机壳内的所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的多色光。该传感器可应用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量。

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本实施例中在探头壳体的内壁上一体成型设置有镜座,反光镜粘接固定设置在所述镜座上,所述反光镜的反光面与探头壳体的轴向呈45°设置。通过镜座对反光镜形成稳定支撑,使反光镜的反光面与所述探头壳体的轴向呈45°,便于对光线进行反射,使被测物体反射的光线经半透半反光学镜后转折90°,到达反光镜,反光镜对其转折90°,使光线顺利进入接收光纤的入光端。探头壳体的末端固定设置有用于对光线进行色散聚焦的色散镜头,色散镜头包括有准直镜组和色散聚焦镜组,准直镜组固定设置在靠近多色光光源的一侧,用于多色光的准直;色散聚焦镜组设置在被测物体的一侧,用于将多色光分别色散和聚焦,使不同波长的光的焦点沿轴向分布在不同高度。从半透半反光学镜射出的光线到达色散镜头,先通过准直镜组对多色光进行准直,使出射光线变成为轴向平行光,轴向平行光到达色散聚焦镜组,从色散聚焦镜组射出的各色光由于波长的不同而聚焦在不同的高度,各焦点高度按照波长的顺序,沿轴向依次排列。该传感器利用光路中的光谱信息实现对位移的测量。无锡光谱共焦位移传感器厂家

该传感器的应用将有助于提高微纳制造、半导体制造和生物医学等领域中的精密测量的准确性。防水光谱共焦位移传感器厂家

Preferencyly,在本实施例中发光件设置有2个,在保证良好提示效果的前提下,采用更少的发光件以减少发热对探头的影响,发光件左右对称布置在光源耦合器中,通过卡扣和螺纹连接固定在光源耦合器中,导光光纤也设置有2个,分别通过插槽3400与发光件连接,两个导光光纤的出光端在探头壳体上呈左右对称设置,发光件发出的指示光能通过导光光纤的传导,从各个方向射出,使用者能从各个角度观察到探头工作情况。创视智能技术创视智能技术防水光谱共焦位移传感器厂家

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