江苏光谱共焦位移传感器品牌企业

光谱共焦位移传感器系统中的光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组，准直透镜组设置在接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。机壳设置有两层，聚焦透镜组位于所述机壳的上层，感光元件位于机壳的下层，聚焦透镜组与感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组，光线转向镜组包括有上反光镜，设置在上反光镜下方位置的下反光镜，光线转向镜组用于使从上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。该传感器的优点包括高精度、非接触式、不受温度和振动等影响。江苏光谱共焦位移传感器品牌企业

根据权利要求1所述的光谱共焦传感器,其中所述线传感器是在使用预定基准轴作为基准的情况下布置的,以及所述光学系统是在使用所述预定基准轴作为基准的情况下配置的,并且所述光学系统包括所述多个测量光束入射的多个光入射口,其中所述多个光入射口在使用所述预定基准轴作为基准的情况下设置在不同位置处。根据权利要求2所述的光谱共焦传感器,其中，所述预定基准轴与在使所述测量光从所述分光器的虚拟光入射口入射至所述光学系统的情况下的光轴相对应。天津光谱共焦位移传感器答疑解惑该传感器的测量范围受到光谱共焦显微镜成像范围的限制。

本实施例中通过采用可拆卸连接便于导光光纤的维护和更换。所述的发光件可设置为一个或多个，当设置为一个时，导光光纤均传递一个发光件的光，这样会导致传递到探头壳体上的光较弱，从而导致光线的辨识度不高，因此本实施例中的所述发光件设置有多个，根据数量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的导光光纤设置有多个，发光件和导光光纤的关系为一一对应连接关系，多个导光光纤呈对称分布或圆周阵列分布在探头壳体的侧壁上，这样由导光光纤一一对应传递发光件产生的光，使光从探头壳体上发出后辨识度高。

将光源耦合器与光谱共焦位移传感探头分开设置，设置在光源耦合器中的发光件实现发光，并通过导光光纤进行传导光后在探头壳体上显示，从而实现产生热量的发光件与探头壳体分离，而不影响探头壳体，从而减少发光件发光时产生的热量对光谱共焦位移传感探头精度的影响，减少测量误差，提高测量精度；通过滤光片过滤红外线，进一步减小发热量和传导的热量。将探头壳体设置成可拆卸的上壳体和下壳体两部分，产生的少量热量集中在上壳体而不对下壳体上的主要光学部件产生影响，从而减少测量误差，提高测量精度。该传感器的应用将有助于提高微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量的准确性。

过去,针对测量待测物体的高度等,已经使用了光谱共焦传感器的技术。例如,日本的intenational公开2014/141535(以下称为专利文献1)公开了使用多个头部的共焦光学系统来进行对测量对象的位移的多点测量的共焦测量设备。在该共焦测量设备中,在各头部中设置有光学滤波器,并且设置要用于测量的波长带,以使得这些头部彼此不同。例如,在No.1头部中使用具有约400nm~600nm的波长的光,并且在第二头部中使用具有约600nm~800nm的波长的光(专利文献1的说明书中的段落、通过以这种方式使要在这些头部中使用的光的波长带彼此不同,可以将分光器内部所布置的摄像装置分割成要由各头部使用的多个区域(通道)。结果,可以针对多个光学头only使用一个分光器(摄像装置)来进行测量对象的多点测量.光谱共焦位移传感器是一种高精度、高分辨率的位移测量技术，具有广泛的应用前景。质量光谱共焦位移传感器工厂

光谱共焦位移传感器具有高精度、非接触式、抗温度、抗振动等优点。江苏光谱共焦位移传感器品牌企业

被测物体表面反射的反射光通过探头接收并由接收光纤选择性的传输到光谱仪，光谱仪对反射光进行聚焦并通过设置在光谱仪中的感光元件对反射光进行量化处理，量化后的光波在光谱仪上产生一个光谱波峰，光谱曲线的峰值位置与聚焦于被测物体表面的波长产生对应关系；光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析，通过光谱波峰反推出被测物体的位移，实现利用光谱共焦原理测量位移的过程；因此本方案中的光谱共焦位移传感器通过光谱共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑，克服不易确定像点的质心位置的缺陷。江苏光谱共焦位移传感器品牌企业