嘉兴防水光谱共焦位移传感器
本实用新型解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种光谱共焦位移传感器,旨在通过光谱共焦工作原理,避免通过激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑,克服不易确定像点的质心位置的缺陷。本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下: 一种光谱共焦位移传感器,包括底座,其中,还包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于产生多色光; 入射光纤,所述入射光纤的入光端固定连接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所发出的多色光;光谱共焦位移传感器是一种高精度、高分辨率的位移测量技术,具有广泛的应用前景。嘉兴防水光谱共焦位移传感器
光谱共焦位移传感器系统中的光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。机壳设置有两层,聚焦透镜组位于所述机壳的上层,感光元件位于机壳的下层,聚焦透镜组与感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组,光线转向镜组包括有上反光镜,设置在上反光镜下方位置的下反光镜,光线转向镜组用于使从上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。成都光谱共焦位移传感器制造厂家该传感器可用于微纳制造、生物医学、半导体制造等领域中的精密测量。
6.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪包括有机壳,固定设置在机壳中并位于所述接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组,固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组,所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根据权利要求6所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,所述准直透镜组设置在所述接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例only用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。本实用新型提出一种光谱共焦位移传感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于产生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光荧光系统,也可使用LED灯发光照射荧光粉产生白光,还可以是LED灯直接产生白光,光源耦合器1000产生的光能可以适当调节,同时通过反馈控制实现光源耦合器1000产生持续的、亮度恒定不变的多色光,从而使光能量和测量更加稳定;光源耦合部分设置有带通滤光片1200,让有效的多色光通过,对无效的红外光和热量进行过滤,避免进入其他部件而造成热变形,因此,对整体系统的性能有改善作用。该传感器利用光路中的光谱信息来测量位移。
光纤连接至壳体部的后端的大致centre处所设置的连接口,使得白色光W被射出到壳体部的内部。从光纤射出的白色光穿过物镜并且从壳体部的前端处所设置的照射面向着待测物体上的测量点照射。物镜是针对光谱传感器所设计的透镜并且产生轴向色像差。具体地,物镜使入射到光学头的光会聚于光轴上的各自与波长入相对应的聚焦位置P处。因此,在本实施例中,白色光中所包括的多个可见光東由物镜会聚于与波长入相对应的相互不同的聚焦位置处。创视智光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。镇江光谱共焦位移传感器生产厂家哪家好
光谱共焦位移传感器是一种高精度非接触式位移传感器。嘉兴防水光谱共焦位移传感器
一种光谱共焦传感器,包括:光源部,用于射出具有不同波长的多个光束:多个光学头,用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处,并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光:分光器,其包括:线传感器,以及光学系统,其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束中的各个测量光束;以及位置计算部,用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点各自的位置。嘉兴防水光谱共焦位移传感器
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