销售光谱共焦位移传感器按需定制

8.根据权利要求7所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述机壳设置有两层，所述聚焦透镜组位于所述机壳的上层，所述感光元件位于所述机壳的下层，所述聚焦透镜组与所述感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组，所述光线转向镜组包括有上反光镜，设置在所述上反光镜下方位置的下反光镜，所述光线转向镜组用于将上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件，所述提示组件包括有：发光件，所述发光件设置在光源耦合器中；导光光纤，所述导光光纤的一端连接在所述光源耦合器中且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上，所述导光光纤用于传导所述发光件所发出的提示光。10.根据权利要求9所述的光谱共焦位移传感器，其特征在于，所述入射光纤，接收光纤，导光光纤外表面套设有保护套，所述保护套一端固定设置在探头壳体内。该传感器适用于高分辨率成像系统，如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。销售光谱共焦位移传感器按需定制

套筒限位在限位槽内,且与限位槽相匹配,套筒上设置有用于光纤连接的螺纹孔进一步,两个双凸球面镜的凸面侧朝内对称设置。进一步,两个双凸球面镜之间的间距为2.5~5.5mm。进一步,位于中间的双凸球面镜与弯月透镜之间的间距为3.5~6.0mm。进一步,卤素灯光源的光谱波段范围为360nm~2500nm。光谱共焦位移传感器是一种具有超高精度和超高稳定性的非接触式位移传感器与激光三角法相比,光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物体适应性强,适用于手机玻璃的检测,凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复。光谱共焦传感器是一种基于光学色散原理的非接触式位移传感器,目的是建立距离与波长间的对应关系。传统的激光三角法测量技术已经比较成熟,运用也比较widely,但由于CCD相机接收反射光范围的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的测量。光谱共焦位移传感器由于其运用同光路的光纤,只要光能照射的区域就能够沿原路返回,可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。天津光谱共焦位移传感器诚信企业推荐它可以实现对材料的变形过程进行精确测量，对于研究材料的变形行为具有重要意义。

本实用新型由于采用了上述技术方案,具有以下有益效果:1、该系统采用价格便宜的Y型光纤和光谱共焦透镜组,结构简单,使用方便,具有较强的实用性,实现了传感器探头的小型化,光源发射和接收同光路,利用光谱仪来对采集的光波进行采集分析2、该系统结构简单,易于产业化,测量精度高,能对有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃进行测量3、光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物适应性强,适用于凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复:4、可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。本实用新型结构简单,实用性强,不仅实现了传感器探头的小型化,有利于提高测量精度,而且适用于具有高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量。

光谱共焦位移传感器系统中的光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组，准直透镜组设置在接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。机壳设置有两层，聚焦透镜组位于所述机壳的上层，感光元件位于机壳的下层，聚焦透镜组与感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组，光线转向镜组包括有上反光镜，设置在上反光镜下方位置的下反光镜，光线转向镜组用于使从上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。光谱共焦技术可以消除光学像差和色差的影响，提高测量精度。

位于沉孔的开口端，通过粘接固定设置有透光镜，透光镜为玻璃材质或塑料材质，透光镜可以为平面镜或凹透镜，平面透光镜的设置可以对导光光纤的出光端进行保护，本实施例中推荐凹透镜，凹透镜可以将导光光纤从发光件传导过来的光发散传导到探头外，使光的指示范围更广，更有利于使用者观察。探头壳体设置为两部分，包括有上壳体和下壳体，上壳体和下壳体均为圆柱形，上壳体和下壳体通过螺纹或卡扣实现可拆卸连接，导光光纤的出光端连接在上壳体的沉孔上；而探头的其他精密光学部件设置在下壳体上，这样导光光纤传导从发光件发出来的光时，不可避免的会产生热量，通过上壳体与下壳体的分开设置，从而上壳体和下壳体之间装配过程中产生配合间隙，导光光纤的热量大部分会传导到上壳体上，上壳体与下壳体的配合间隙会抵消上壳体因受热而产生的形变量，从而减少产生的热量对下壳体及对下壳体中的高精度元件的影响，提高探头精度。光谱共焦位移传感器具有高精度、非接触式、抗温度和抗振动等优点。本地光谱共焦位移传感器定做

它的精度可以达到纳米级别，适用于各种需要高精度位移测量的领域。销售光谱共焦位移传感器按需定制

本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。该光谱共焦传感器包括:光源部,用于射出具有不同波长的多个光束;多个光学头,用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处,并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光:分光器,其包括:线传感器,以及光学系统,其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束:以及位置计算部,用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点的位置销售光谱共焦位移传感器按需定制