高性能光谱共焦供应链
光谱共焦测量原理通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。工厂校准为每个波长分配了一定的偏差(特定距离)。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。从目标表面反射的这种光通过共焦孔径到达光谱仪,该光谱仪检测并处理光谱变化。漫反射表面和镜面反射表面都可以使用共焦原理进行测量。共焦测量提供纳米分辨率并且几乎与目标材料分开运行。在传感器的测量范围内实现了一个非常小的光斑尺寸。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔的内表面,以及测量窄孔、小间隙和空腔 。光谱共焦位移传感器可以实现对不同材料的位移测量,包括金属、陶瓷、塑料等。高性能光谱共焦供应链
光谱共焦位移传感器包括光源、透镜组和控制箱等组成部分。光源发出一束白光,透镜组将其发散成一系列波长不同的单色光,通过同轴聚焦在一定范围内形成一个连续的焦点组 ,每个焦点的单色光波长对应一个轴向位置。当样品位于焦点范围内时,样品表面会聚焦后的光反射回去,这些反射回来的光再经过与镜头组焦距相同的聚焦镜再次聚焦后通过狭缝进入控制箱中的单色仪。因此,只有位于样品表面的焦点位置才能聚焦在狭缝上,单色仪将该波长的光分离出来,由控制箱中的光电组件识别并获取样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高分辨率,满足薄膜厚度分布测量要求。高速光谱共焦企业光谱共焦技术的精度可以达到纳米级别。
光谱共焦位移传感器是一种基于光波长偏移调制的非接触式位移传感器。它也是一种新型极高精密度、极高可靠性的光学位移传感器,近些年对迅速、精确的非接触式测量变得更加关键。光谱共焦位移传感器不但可以精确测量偏移,还可用作圆直径的精确测量,及其塑料薄膜的折光率和厚度的精确测量,在电子光学计量检定、光化学反应、生物医学工程电子光学等领域具备大量应用市场前景。光谱共焦位移传感器的诞生归功于共聚焦显微镜研究。它们工作中原理类似,都基于共焦原理。1955年,马文·明斯基依据共焦原理研发出共焦光学显微镜。接着,Molesini等于1984年给出了光谱深层扫描仪原理,并将其用于表面轮廓仪。后来在1992年,Browne等人又把它运用到共聚焦显微镜中,应用特殊目镜造成散射开展高度测量 ,不用彩色扫描,提升了测量速度。a.Ruprecht等运用透射分束制定了超色差镜片,a.Miks探讨了运用与不一样玻璃材质连接的镜片得到镜头焦距与波长线性关系的办法。除开具有μm乃至纳米技术屏幕分辨率以外,光谱共焦位移传感器还具备对表层质量要求低,容许更多的倾斜度和达到千HZ的输出功率的优势。
随着工业快速的发展 ,对精密测量技术的要求越来越高,位移测量技术作为几何量精密测量的基础,不仅需要超高测量精度,而且需要对环境和材料的大量适应性,并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比,光谱共焦位移传感器具有高速度,高精度,高适应性等明显优势。本文通过对光谱共焦传感器应用场景的分析,有助于广大读者进一步加深对光谱共焦传感器技术的理解。得益于纳米级精度及超好的角度特性,光谱共焦位移传感器可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪,光谱共焦位移传感器以更高的速度采集粗糙度轮廓,并且对产品表面无任何损伤。光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。
非球面中心偏差的测量手段主要包括接触式(百分表)和非接触式(光学传感器)。文章基于自准直定心原理和光谱共焦位移传感技术,对高阶非球面的中心偏差进行了非接触精密测量。光学加工人员根据测量出的校正量和位置方向对球面进行抛光,使非球面透镜的中心偏差满足光学系统设计的要求。由于非球面已加工到一定精度要求 ,因此对球面的抛光和磨削是纠正非球面透镜中心偏差的主要方法。利用轴对称高阶非球面曲线的数学模型计算被测环D带的旋转角度θ,即光谱共焦位移传感器的工作角。激光位移传感器在微位移测量领域具有广泛应用。高采样速率光谱共焦制造厂家
光谱共焦技术有着较大的应用前景。高性能光谱共焦供应链
在硅片栅线的厚度测量过程中,创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光谱共焦位移传感器具有0.025 µm的重复精度,±0.02%的线性精度,10kHz的测量速度和±60°的测量角度。它适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面和多层玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太网和模拟量数据传输接口。在测量太阳能光伏板硅片栅线厚度时,使用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线厚度可通过栅线高度与基底高度之差获得,通过将需要扫描测量的硅片标记三个区域并使用光谱共焦C1200单探头单侧测量来完成测量。由于栅线不是平整面,并且有一定的曲率,因此对于测量区域的选择具有较大的随机性影响。高性能光谱共焦供应链