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时间:2024年11月01日 来源:

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美国ALICAT真空流量控制器MCV系列亦采用Alicat**的层流压差技术,确保了在大流量情况仍然是线性流动,从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书。质量流量计&质量流量控制器(腐蚀性气体)质量流量计&质量流量控制器(腐蚀性气体)MS/MCS/MCRS系列–316L不锈钢结构,适用于腐蚀性气体Alicat的MS系列数字式质量流量计能精确快速地测量NH3、H2S和SiH4等腐蚀性气体的质量流量、体积流量、压力和温度,MCS&MCRS系列质量流量控制器还可通过高速比例控制阀精确地控制质量流量、体积流量和压力,其**部件是Alicat**的层流压差技术,确保在大流量情况仍然是线性流动,从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书及有条件的终身质保。-------------MCD系列双向质量流量控制器操作极其简单。用户可通过多功能数字显示屏调节参数,无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。

小岛流量计EX700磁性不锈钢,PTFE,Ni-Co电气连接Dsub9针KFC标准(符合SEMI标准)HR-10A×2流量设定输入信号0~5VDC(输入电阻约1MΩ)Or4~20mA(输入电阻约250Ω)–流量输出信号0~5VDC(负载电阻10kΩ以上)or4~20mA(负载电阻500Ω以下)数字通信通过RS485旋转开关设置地址所需电源(DC)+15VDC(±5%)100mA以下,-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下(MFM都为100mA以下)接头相当于1/4VCR安装姿势未指定重量约800g约550g(*1)干燥气体,不含腐蚀性成分和灰尘,雾气等的干净气体。(*2)流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。(*3)工作压差可能因规格而异。艾里卡特ALICAT气体质量流量计 SZ020-LL1-H-L-C13-DI4-DB9M-050-100-104 ALICAT低压损质量流量计 MW-50SCCM-D.

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