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MEMS芯片有1个比较关键的指标，尺寸，能在越小的尺寸上关键性能越优，其应用的场景越***也越有竞争力，也说明生产工艺和技术含量越高，MEMS是一个**的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，但每个公司的技术和生产能力决定了所能生产MEMS芯片的大小，也决定了其应用场景的范围。MEMS芯片是相通的，很多公司不止有一款MEMS芯片，一旦在制程和工艺上**，其他产品是可以很快横向铺开。 福建口碑好mems芯片质量放心可靠

MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统 。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个**的智能系统。主要由传感器 、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费 电子、可穿戴 设备、智能家居、系统生物技术 的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

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    现在我们可以使数以万计的MEMS芯片（有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工）出现在了每一片wafer上面，如下图所示。这种批量生产（batchcess）的过程目前已经全自动化控制，隔离了人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。纳米技术本身的优势。曾几何时，微米和纳米技术被称为了科技的代言词，但大部分人根本不理解微米和纳米技术是什么。其实对于MEMS传感器来讲，比较大的优势是体积和表面积的比数值小（体积：表面积）。我们都知道体积是跟长度的三次方，而面积是长度的二次方。所以把一个MEMS器件等比例缩小的结果就是体积：表面积会缩小，这样会使得MEMS器件的信噪比增加（也就是有好处）。

    其次，同样是由于IMU不需要任何外部信号，它可以被安装在汽车底盘等不外露的区域，可以对抗外来的电子或机械攻击；相比而言，视觉、激光和毫米波在提供相对或***定位时必须接收来自汽车外部的电磁波或光波信号，这样就很容易被来自攻击者的电磁波或强光信号干扰而致盲，也容易被石子、刮蹭等意外情况损坏。***，IMU对角速度和加速度的测量值之间本就具有一定的冗余性，再加上轮速计和方向盘转角等冗余信息，使其输出结果的置信度远高于其它传感器提供的***或相对定位结果。总而言之，在自动驾驶纷繁复杂无法穷举的工况中，IMU以其超高的置信度、完全无需外部依赖的特性，以及强大的抗干扰能力，像一颗定海神针，为自动驾驶的定位系统提供***一道安全保障。

    用加速度计就够了嘛，为什么一定要用陀螺仪呢？因为加速度计测量的物理量是比力，而非加速度，加速度是通过比力计算得到的。加速度计不能分辨出是地球引力还是运动外力。所以在被测量物体运动的时候将无法得到准确的倾角。这个时候陀螺仪就起作用了，因为陀螺仪对运动加速度不敏感。陀螺仪短时间内计算的角度很准确，但时间长了会产生累计误差，加速度计长时间内的稳定弥补了陀螺仪的短缺。加速度计在运动的情况下测量有误差，陀螺仪对运动不敏感。所以可以用两者的互补关系，来设计一个倾角传感器。那这里面怎么用到PID的性质呢？我们把加速度求得的角度θ作为目标量，我们把陀螺仪积分角度θgyro作为输出量。让陀螺仪角度跟随着加速度角度。设计PI跟随器，调节参数，让陀螺仪积分角度θgyro慢慢跟随加速度计算的角度θ。下图是计算周期为50ms时，kp=，ki=。角速度噪声±。加速度受到运动的影响，角度噪声为±2度。在0秒时以角速度10度/秒运动2秒，在2秒时角速度以-10度/秒运动4秒。下面是6s到10s的放大图。真实角度（蓝色）为-21度，陀螺仪积分角度（紫色）漂移了2度左右，加速度计计算角度（绿）噪声为±2度，组合角度（红。内蒙古质量mems芯片质量放心可靠

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    在50s的时候，把目标液位设置为2米，液位下降，2秒后稳定到2米。说明PID完成了它原始的使命——作为控制器使用。PID作为信号跟随器——倾角传感器的设计这里倾角传感器的设计就不涉及到任何控制了。我们的目标是测量角度，硬件选用加速度计和陀螺仪构成。为了方便，我们只测量单轴角度，这里用2轴微电子加速度计和1轴微电子陀螺仪。陀螺仪的输出量是角速度，角速度积分就是角度，这不是用陀螺仪就能解决了吗？为什么还要加速度计呢？是因为陀螺仪输出的角速度包含有各种噪声，积分得到的角度会随着时间误差越来越大。具体的可以看下面的图像分析。上面左图是以1度/秒的角速度运动10秒，右图在角速度1度/秒的基础上加了±，可以发现在10秒后角度值为106度（图可能看不清），这是因为角度值的获取是通过角速度积分得到的，存在累计误差。而加速度计具备良好的稳定性，测量的偏移也很小，**重要的是它测量的角度没有累计误差。θ是加速度计测量的倾角。定义当测量角为0时，az沿着重力方向竖直向下，和重力加速度的关系是az=g*cos(θ)，ax垂直于az，和重力加速度的关系是az=g*sin(θ)。这就是加速度计测量倾角的原理。那既然加速度计没有累计误差，测量比陀螺仪更好。福建口碑好mems芯片质量放心可靠

苏州原位芯片科技有限责任公司是一家微纳米芯片及相关产品的研发、销售并提供相关技术服务；销售：电子材料、实验室耗材、无尘耗材、洁净设备、实验室设备和仪表；提供上述产品的技术转让和服务，从事上述产品及技术的进出口服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）的公司，创建于2015-04-08。公司自2015-04-08成立以来，投身于[ "微纳代工", "微流控器件", "MEMS芯片设计加工", "MEMS流片" ]，是仪器仪表的主力军。公司坚持以技术创新为发展引擎，以客户满意为动力，目前拥有11~50人专业人员，年营业额达到700-1000万元。苏州原位芯片科技始终关注仪器仪表市场，以敏锐的市场洞察力以准确定位，实现与客户的成长共赢。