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    具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1～图4，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。跨越障碍，世华高硅光电二极管带你体验智能家电。苏州硅光电硅光电二极管收费

    深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。孔直径为25um，孔间距35um；也可以为同心环结构，该同心环中心与金属电极106中心重合，个环直径与金属电极106直径相同，相邻环间距10um，环中心距35um；正面金属电极106下方的高反层需要刻蚀掉，以增大同流能力，降低扩散电阻，提高响应速度。进一步的，参见图5-1～图5-7。本发明还提出一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法，包括以下操作：1)在衬底107上溅射生成高反层109；2)高反层109开设刻蚀孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长外延层101；4)在外延层101上通过离子注入分别形成保护环102和有源区103；5)在保护环102和有源区103上生成sio2层104，然后在sio2层上方生成si3n4层105。滨松硅光电二极管接法专注硅光电二极管，智能硬件解决方案-世华高。

    主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。所述的有源区为b离子源注入，注入剂量为1e15～2e15；所述的正面金属电极是在溅射al之后刻蚀形成。与现有技术相比。

    4)通过离子注入分别形成n+保护环102和p+有源区103，间距12～20um；5)热氧化生成sio2层104)，sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻掉si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构。硅光电池哪一家做得好？世华高好。

    本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。pin硅光电二极管哪家好！世华高好。汕头硅光硅光电二极管厂家

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