江苏真空镀膜DLC检测

DLC涂层应用

(1)钻头、铣刀DLC涂层可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不仅具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。

(2)光盘模具及其辅助模具光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具，为了减少它与母盘（镍盘）的摩擦，希望模具表面硬且摩擦系数小，目前，国外大多采用DLC膜层，部分提高了模具的寿命和盘片的质量。镀膜之后有硬度高，摩擦系数低，耐磨，耐腐蚀，抗粘结性好且环保等特点。

(3)芯轴DLC涂层的耐磨减摩及耐腐蚀性，可显著提高齿轮、芯轴等运动部件的使用性能及寿命。

(4)刀片上的应用现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤的摩擦，改善了刀片的性能，延长了使用寿命。

(5)关键零部件上的应用DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能，如在制成式斯特林制冷机的活塞上的应用利用其低的摩擦系数，降低摩擦力，提高耐磨性，达到无油润滑及使用寿命要求。在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理，不但避免了污染环境的问题，而且，明显提高工件表面硬度及耐磨性，使用寿命提高了10倍以上，同时，也因表面膜层摩擦系数降低后，使机器运行过程中产生的噪音变小。

DLC可适合用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域，具有良好的应用前景。江苏真空镀膜DLC检测

1.类金刚石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2杂化键结合形成的一种亚稳态非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等独特的性质。采用不同的工艺方法制备的DLC薄膜具有不同的微观结构和性质。特别地,作为光学材料,DLC薄膜具有较宽的禁带宽度和较低的折射率,且折射率可在一定范围内调控。

2. 利用DLC来制备晶体硅表面的减反射膜,用于提高太阳能电池的光电转化效率。使用磁控溅射沉积设备在单晶硅基体上制备了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和与sp3含量有关,sp3含量越高,折射率越高。改变工艺参数,DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之间变化。DLC薄膜消光系数与DLC薄膜中sp2相的含量有关。sp2含量越高,消光系数越高。

3. 甲烷浓度对DLC薄膜光学性质的影响,随着甲烷浓度的增加,DLC薄膜的透射率呈现逐渐减少的趋势。当甲烷浓度在5SCCM以下时,薄膜的透光性比较好，在硅基底上添加多层DLC薄膜能够实现在可见光区的多波段减反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能够实现在可见光区的多波段增透效果。 杭州压铸模具DLC加工要解决减少或免除切削液带来的问题，刀具DLC镀层不仅应使刀具具有长寿命，且应有自润滑的功能。

1. 类金刚石(diamond-like carbon,DLC)涂层具有优异的性能,应用潜力适合.但DLC涂层的较为缺点,即内应力高和热稳定性差,限制了DLC涂层的推广应用.本实验采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的方法,调控涂层含氮量,调节偏压大小,以及进行硅氮共掺.利用拉曼光谱,红外光谱(FTIR),X射线光电子能谱(XPS)和薄膜应力测试仪,微纳米力学综合测量系统等分析测试手段对涂层组织和性能进行表征,探讨了DLC涂层沉积态及退火态的组织结构和性能的变化规律.实验获得如下结论:(1)对掺氮含氢类金刚石(a-CN:H)涂层而言.随着N_2流通量增加,涂层含氮量增加,sp~3含量先增加后减小,拐点氮含量为0.12 at%.涂层中的N元素以C=N键为主,且C=N键在490°C以上温度退火时才发生部分断裂.存在临界退火温度430°C.低于该温度退火时,与纯含氢类金刚石(a-C:H)涂层相比,掺氮涂层具有较低的sp~3→sp~2的结构转变温度.但当退火温度大于430°C时,掺氮涂层的结构转变速率比a-C:H涂层低.即随着涂层含氮量增加,低氮掺杂涂层的高温热稳定性增加.当掺氮涂层经430°C退火后,可以获得具有高硬度,高导率,低残余应力和低摩擦系数等综合性能优异的DLC涂层

DLC热稳定性由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300℃以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20at%Si的DLC膜在740℃退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属（如Ti、W、Cr）的掺入也可提高DLC膜的热稳定性。

耐腐蚀性纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。 实验结论表明DLC有着较好的抗凝血性能，并且与其他医用材料对比其抗凝血效果也更佳。

1.氮化钛(TiN)具有典型的NaCl型结构，属面心立方点阵，晶格常数a=0.4241nm，其中钛原子位于面心立方的角顶。TiN是非化学计量化合物其稳定的组成范围为TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范围内变化而不引起TiN结构的变化。TiN粉末一般呈黄褐色超细TiN粉末呈黑色，而TiN晶体呈金黄色。TiN熔点为2950℃，密度为5.43-5.44g/cm3，莫氏硬度8-9，抗热冲击性好。氢化钛的理化性质由氢元素的含量来决定，当氨元素含量减少时氮化钛的晶格参数反而增大，硬度也会有显微的增大，但氮化钛的抗震性随之降低。TiN熔点比大多数过渡金属氮化物的熔点高，而密度却比大多数金属氨化物低，因此是一种很有特色的耐热材料。采用DLC涂层可有效提高切削刀具使用寿命，使刀具获得优良的综合机械性能，从而大幅度提高机械加工效率。上海医疗器械DLC服务电话

纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降。江苏真空镀膜DLC检测

1. 为改善钛双极板在质子交换膜(PEM)水电解槽环境中的耐腐蚀性能和导电性能，采用电泳沉积-热处理两步法在钛基底表面制备碳掺杂氮化钛(C-TiN)复合保护涂层，并在0.5 mol/L的H2SO4和5 mg/L的F-溶液中模拟PEM水电解槽阳极环境测试其电化学腐蚀性。结果表明，电泳沉积及热处理改善了氮化钛纳米颗粒的连通性，增强了涂层与衬底的粘附力，实现了电子在电活性材料中快速传递。400℃下制备的碳掺杂氮化钛涂层(C-TiN-400℃),其导电性与耐蚀性均得到明显提升；相比于未处理的样品，镀有C-TiN-400℃涂层的样品在146.3 N/cm2压力下的接触电阻可达到2.25 mΩ·cm2。江苏真空镀膜DLC检测

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