广东进口金刚石抛光液品牌
集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液:一种用于集成电路多层互连结构铜/钽化学机械抛光(CMP)的一步抛光工艺技术及相应纳米抛光液。对于互连结构的铜/钽多层膜体系的化学机械抛光,通过本发明的“一步抛光工艺”,单头抛光机能够代替昂贵的多头抛光机,实现多层膜的分步抛光。通过化学机械抛光过程中多层膜体系界面间在线检测信号(声学、力学、电学或光学信号)差异的反馈,对抛光液实施分段应用,有效改善了原有的单一抛光液或分步抛光中存在的低速率及选择性问题。该抛光工艺及相应纳米抛光液有效改善了单一抛光液的速率问题;以单头抛光机代替多头抛光机,降低了设备成本;同时抛光后表面损伤少、易清洗,抛光液不腐蚀设备、不污染环境。本公司销售的纳米抛光液应用范围:汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。广东进口金刚石抛光液品牌
抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品超过原有的光泽。本产品性能稳定、***,对环境无污染等作用,光液使用方法:包括棘轮扳手、开口扳手,批咀、套筒扳手,六角扳手,螺丝刀等,铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后,再使用抛光剂配合振动研磨光饰机,滚桶式研磨光式机进行抛光;1抛光剂投放量为(根据不同产品的大小,光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进行适当配置),2:抛光时间:根据产品的状态来定。3、抛光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。这两个概念主要出现在半导体加工过程中,**初的半导体基片抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是及其严重的。直到60年代末,一种新的抛光技术——化学机械抛光技术取代了旧的方法。CMP技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,抛光速率较快,表面光洁度高,损伤低,完美性好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为完美的表面,又可以得到较高的抛光速率。 广州国产抛光液规格多晶金刚石 抛光液适用于光学晶体、陶瓷、超硬合金等各种硬质材料的研磨和 抛光。
α-氧化铝(刚玉)的硬度高,安稳性好,纳米级的氧化铝适用于光学镜头、单芯光纤连接器、微晶玻璃基板、晶体外表等的精密抛光,运用适当***。当前,以高亮度GaN基蓝光LED为中心的半导体照明技术在照明范畴引起了很大的颤动,并成为全球半导体范畴研讨的热门。但GaN很难制备,必须在其它衬底晶片上外延生长薄膜,如蓝宝石晶片或碳化硅晶片,因而晶片的抛光也成为重视的焦点。
近年来,国际上采用了一种新的工艺,即用Al2O3抛光液一次完成蓝宝石、碳化硅晶片的研磨和抛光,**进步抛光功率。不过,因为纳米α-氧化铝的硬度很高,因而抛光时易对工件外表形成严峻的损伤;而且纳米氧化铝的外表能比较高,粒子易聚会,也会形成抛光工件的划痕、凹坑等外表缺点。近年来对氧化铝抛光液的研讨主要会集在纳米磨料制备、氧化铝颗粒外表改性、氧化铝抛光液混合运用等方面。
纳米氧化铝颗粒在极性的水溶液中,氧化铝颗粒因为受静电力等作用发作聚会,简单呈现絮凝分层等现象,抛光液的涣散性、安稳性。由磨料颗粒的聚会现象发作的大颗粒胶团,是化学机械抛光进程中衬底外表呈现划痕的主要原因。氧化铝颗粒的粒径巨细及散布、Zeta电位,以及抛光液添加安稳剂、涣散剂的品种和质量对抛光液安稳性有较大的影响。
对纳米氧化铝外表改性可进步颗粒外表规矩度,减少抛光划痕和凹坑,一起进步氧化铝磨料涣散度和抛光液安稳性。常见的处理办法为利用偶联剂、有机物、无机物等在硬度较高的氧化铝粒子外表包覆一层较软的物质以减少抛光划痕和凹坑等缺点,从而改进氧化铝抛光液的安稳性和涣散性,一起能有用进步抛光磨料的耐磨性能。此外,还能够经过改动氧化铝颗粒Zeta电位来进步抛光液的安稳性。
磨料粒子的涣散问题。现在,国内外常用超声波、机械拌和、外表处理等机械化学办法对纳米磨料粒子进行涣散,但是往往达不到效果,因而,纳米磨料粒子的涣散安稳性需要进一步的研讨。
纳米 抛光液能达到超精密的抛光效果,分散稳定性,长时间不沉淀,不团聚。
纳米抛光液应用范围:
1、 透明陶瓷:高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。
2、 化妆品填料。
3、 单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。
4、 **度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。
5、 精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。
6、 涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。
7、 气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。
8、 催化剂、催化载体、分析试剂。
9、 汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。 本公司销售的纳米抛光液应用范围:单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。苏州碱性抛光液厂家
非结晶***抛光液具有弱碱性,经过抛光方法与外表形成反应层,柔软的***去除反应层,可得到高质量的外表。广东进口金刚石抛光液品牌
蓝宝石抛光液
蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。 蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可***用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
蓝宝石抛光液的特点:
1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度(Cu含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工,蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。 蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。 广东进口金刚石抛光液品牌
苏州豪麦瑞材料科技有限公司属于化工的高新企业,技术力量雄厚。公司致力于为客户提供安全、质量有保障的质量产品及服务,是一家私营有限责任公司企业。公司业务涵盖[ "陶瓷研磨球", "碳化硅", "陶瓷精加工", "抛光液" ],价格合理,品质有保证,深受广大客户的欢迎。豪麦瑞材料科技以创造***产品及服务的理念,打造高指标的服务,引导行业的发展。
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