四川抛光液介绍

高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液:一种用于半导体器件中高介电常数介电材料钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液。该CMP纳米抛光液包含有纳米研磨料、螯合剂、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于新一代高密度存储器(DRAM)电容器介电材料及CMOS场效应管的栅介质——高介电常数介电材料钛酸锶钡的全局平坦化。利用上述纳米抛光液采用化学机械抛光方法平坦化高介电常数介电材料钛酸锶钡,抛光后表面的粗糙度降至0.8nm以下,抛光速率达200～300nm/min;抛光后表面全局平坦度高,损伤较少,是制备超高密度动态存储器(DRAM)及CMOS场效应管时高介电材料平坦化的一***抛光液。抛光液具有性能稳定、***，对环境无污染等优点。四川抛光液介绍

纳米抛光液  

本公司有多种纳米抛光液，有纳米氧化铝抛光液、纳米氧化铈抛光液，纳米氧化锆抛光液、纳米氧化镁抛光液、纳米氧化钛抛光液、纳米氧化硅抛光液等。  

本系列纳米抛光液晶相稳定、硬度有高有低、适合客户各种软硬材料抛光，被广泛应用于催化剂，精密抛光，化工助剂，电子陶瓷，结构陶瓷，紫外线收剂，电池材料等领域。我公司采用先进的分散技术将纳米氧化物粉体超级分散, 形成高度分散化、均匀化和稳定化的纳米氧化物浆料。具有更高的活性、易加入等特性，方便顾客使用。 主要用途：适合各种宝石研磨抛光、电子磁性材料的研磨抛光、普通玻璃抛光，工艺玻璃抛光，水晶玻璃抛光，单晶硅片抛光，油漆表面抛光，手机外壳抛光，汽车表面抛光，高级不锈钢外壳抛光，高级首饰品抛光以及做抛光蜡原料等。 广东进口抛光液厂家本公司的纳米抛光液适合手机外壳抛光，汽车表面抛光，高级不锈钢外壳抛光。

纳米抛光液应用范围： 

 1、 透明陶瓷：高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。

 2、 化妆品填料。  

 3、 单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。  

 4、 **度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。      

 5、 精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。 

 6、 涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。  

 7、 气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。 

 8、 催化剂、催化载体、分析试剂。  

 9、 汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。

集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液:一种用于集成电路多层互连结构铜/钽化学机械抛光(CMP)的一步抛光工艺技术及相应纳米抛光液。对于互连结构的铜/钽多层膜体系的化学机械抛光,通过本发明的“一步抛光工艺”,单头抛光机能够代替昂贵的多头抛光机,实现多层膜的分步抛光。通过化学机械抛光过程中多层膜体系界面间在线检测信号(声学、力学、电学或光学信号)差异的反馈,对抛光液实施分段应用,有效改善了原有的单一抛光液或分步抛光中存在的低速率及选择性问题。该抛光工艺及相应纳米抛光液有效改善了单一抛光液的速率问题;以单头抛光机代替多头抛光机,降低了设备成本;同时抛光后表面损伤少、易清洗,抛光液不腐蚀设备、不污染环境。本公司销售的纳米抛光液应用范围：化妆品填料。

    研磨液供给与输送系统

①研磨液供给与输送系统与CMP工艺之间的关系：研磨液中的化学品在配比混合输送过程中可能有许多变化，这一点，使输送给机台的研磨液质量与抛光工艺的成功形成了非常紧密的关系，其程度超过了与高纯化学品的联系。尽管CMP设备是控制并影响CMP工艺结果的主要因素，但是研磨液在避免缺点和影响CMP的平均抛光速率方面起着巨大的作用。

②研磨液供给与输送系统实现的目标：通过恰当设计和管理研磨液供给与输送系统来保证CMP工艺的一致性。研磨液的混合、过滤、滴定以及系统的清洗等程序会减轻很多与研磨液相关的问题。那么就要设计一个合适的研磨液的供给与输送系统，完成研磨液的管理，控制研磨液的混合、过滤、浓度、滴定及系统的清洗，减少研磨液在供给、输送过程中可能出现的问题和缺点，保证CMP的平坦化效果。

③抛光研磨液后处理：作为消耗品，研磨液一般是一次性使用。随着CMP市场的扩大，抛光研磨液的排放及后处理工作量也在增大(出于环保原因，即使研磨液不再重复利用，也必须先处理才可以排放)。而且，抛光研磨液价格昂贵，如何对抛光研磨液进行后处理，补充必要的化学添加剂，重复利用其中的有效成分，或降级使用，不仅可以减少环境污染。 抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂。四川抛光液介绍

本公司销售的氧化硅抛光液适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。四川抛光液介绍

抛光液主要成分：氧化铬、刚玉、铁红、长石粉等材料！根据不同基体成分和要求制成不同的细度和品种。   液体抛光蜡也跟东展新博抛光蜡类似！   加工工序也分4种：   粗抛光   中研磨   中抛光   精细抛光。

液体抛光蜡优点 

1、增加生产量，操作人员不再需要中断抛光工作,可以自动的控制抛光液的喷涂,   

2、节省操作时间,提高产能。   

3、节省清洗时间，抛光液是水性的配方, 抛光后工程的清洗工序更容易,可以节省的清洗时间  

4、抛光轮寿命增加，喷涂液体研磨剂对研磨轮之轮缘表面温度有冷却作用 ，  

5、**减低 研磨轮的损耗，从而增加研磨轮的寿命。   

6、增加产品的稳定性能，避免了人手操作的不确定性。 四川抛光液介绍

苏州豪麦瑞材料科技有限公司致力于化工，是一家贸易型的公司。公司自成立以来，以质量为发展，让匠心弥散在每个细节，公司旗下陶瓷研磨球，碳化硅，陶瓷精加工，抛光液深受客户的喜爱。公司从事化工多年，有着创新的设计、强大的技术，还有一批**的专业化的队伍，确保为客户提供良好的产品及服务。在社会各界的鼎力支持下，持续创新，不断铸造***服务体验，为客户成功提供坚实有力的支持。