四川基板抛光液品牌
抛光液锗抛光液集成电路多次铜布线抛光液集成电路阻挡层抛光液应用,在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高,普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用"软磨硬"的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的快速发展,聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。2.半导体行业CMP技术还***的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供"光滑"的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是目前***的可以在整个硅圆晶片上***平坦化的工艺技术。多晶金刚石 抛光液适用于光学晶体、陶瓷、超硬合金等各种硬质材料的研磨和 抛光。四川基板抛光液品牌
化学机械抛光液
1、化学机械抛光液概念 化学机械抛光液是在利用化学机械抛光技术对半导体材料进行加工过程中的一种研磨液体,由于抛光液是CMP的关键要素之一,它的性能直接影响抛 光后表面的质量,因此它也成为半导体制造中的重要的、必不缺少的辅助材料。
2、化学机械抛光液的组成 化学机械抛光液的组成一般包括一般由超细固体粒子研磨剂(如纳米SiO2、Al2O3粒子等)、表面活性剂、稳定剂、氧化剂等。固体粒子提供研磨作用,化学氧化剂提供腐蚀溶解作用,由于SiO2粒子去除率比较高,得到的表面质量比较好,因此在硅片抛光加工中主要采用SiO2抛光液,
3、化学机械抛光液的分类 抛光工艺中有粗抛光和精抛光之分,故有粗抛光液和精抛光液品种之分。
4、CMP过程中对抛光液性能的要求 抛光液的浓度、磨粒的种类、大小、形状及浓度、抛光液的粘度、pH值、流速、流动途径对去除速度都有影响。 河南抛光液厂商氧化铝抛光液朴实机械抛光可使样品外表平整,但是却无法确保铜不发生,因而适合涂层丈量和边界层分析。
抛光液的主要产品可以按主要成分的不同分为以下几大类:金刚石抛光液(多晶金刚石抛光液、单晶金刚石抛光液和纳米金刚石抛光液)、氧化硅抛光液(即CMP抛光液)、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液和碳化硅抛光液等几类。
多晶金刚石抛光液
多晶金刚石抛光液以多晶金刚石微粉为主要成分,配合**散性配方,可以在保持高切削率的同时不易对研磨材质产生划伤。
应用于蓝宝石衬底的研磨、LED芯片的背部减薄、光学晶体以及硬盘磁头等的研磨和抛光。
氧化硅抛光液
氧化硅抛光液是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。
用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。
氧化铈抛光液
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。
适用于高精密光学仪器,光学镜头,微晶玻璃基板,晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。
氧化铝和碳化硅抛光液
是以超细氧化铝和碳化硅微粉为磨料的抛光液,主要成分是微米或亚微米级的磨料。
用于高精密光学仪器、硬盘基板、磁头、陶瓷、光纤连接器等方面的研磨和抛光。
抛光液的使用说明
一、抛光液特性 抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品超过原有的光泽。本产品性能稳定、***,对环境无污染等作用
二、抛光液用途 抛光液适用于铅锡合金,铜,锌合金,不锈钢,铝合金,铁等金属零部件的抛光,光亮度可达12级,可取代多种进口抛光剂和抛光粉。
三:抛光液技术指标 抛光液项目指标测试方式: PH值 5.5—6.5 ***PH值试纸 外观 黄色粘稠液体 目测 粘度 500—100cps 粘度器测定 本公司的纳米抛光液适合高级首饰品抛光以及做抛光蜡原料等。
蓝宝石研磨液
蓝宝石研磨液(又称为蓝宝石抛光液)是用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液。 蓝宝石研磨液由质量聚晶金刚石微粉、复合分散剂和分散介质组成。
蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性,在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。
蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用:
1. 外延片生产前衬底的双面研磨:多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道,根据**终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。
2. LED芯片背面减薄 为解决蓝宝石的散热问题,需要将蓝宝石衬底的厚度减薄,从450nm左右减至100nm左右。主要有两步:先在横向减薄机上,用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度;再用抛光机(秀和、NTS、WEC等)针对不同的研磨盘(锡/铜盘),采用合适的蓝宝石研磨液(水/油性)对芯片背面抛光,从150nm减至100nm左右。 本公司的纳米抛光液适合各种宝石研磨抛光、电子磁性材料的研磨抛光。广州进口抛光液厂商
本公司销售的纳米抛光液应用范围:催化剂、催化载体、分析试剂。四川基板抛光液品牌
纳米抛光液应用范围:
1、 透明陶瓷:高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。
2、 化妆品填料。
3、 单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。
4、 **度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。
5、 精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。
6、 涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。
7、 气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。
8、 催化剂、催化载体、分析试剂。
9、 汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。 四川基板抛光液品牌
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