碱性抛光液用途
氧化铝又称为刚玉,在摩氏硬度表中位列第9级,具有很大的硬度。又因有六角柱体的晶格结构,十分适合再研磨材料。且相对比钻石更低廉的价钱。所以氧化铝它成为研磨和抛光的好材料。
氧化铝抛光液的特点
氧化铝抛光液具有硬度高、磨削力强、适用范围广等优点。模氏硬度可达5500-8000kg/mm2。不易产生划痕,粒度分布范围窄,研磨后材料表面质量好,粒径有1.0CR、0.3CR、0.1CR、0.05CR几种可供选择。
氧化铝抛光液的应用
1、电子行业:电子行业单晶硅片的研磨以及PCB金相切片的研磨;
2、装饰行业:不锈钢餐具及其它装饰材料的抛光;
3、喷涂材料:等离子喷涂;
4、光学玻璃冷加工。 纳米 抛光液用 于硬质材料的超精密抛光过程,可使被抛表面粗糙度低于0.2nm。碱性抛光液用途
氧化硅抛光液经过严格的粒径控制和专业的加工工艺。 该产品抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。
产品特点:
1.分散性好、不结晶 。
2.粒径分布***:5-100nm。
3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。
5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。
使用方法:
1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。
2.稀释后,粗抛时调节PH至11左右,精抛时调节PH至9.5左右。pH调节可以用10%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入。
3.循环抛光可以用原液。
湖北进口抛光液介绍CMP抛光液中常选用粒径50∼200 nm、粒径散布均匀的纳米α-Al2O3。
LED芯片主要选用的衬底资料是蓝宝石,在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高,普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底外表进行减薄和粗磨后,外表不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的完成了蓝宝石外表的精密抛光。随着LED行业的快速开展,聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。氧化铝抛光液的市场也越来越大
CMP技能还***的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体资料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速开展,对抛光技能提出了新的要求,传统的抛光技能(如:根据淀积技能的选择淀积、溅射等)尽管也能够供给“光滑”的外表,但却都是部分平面化技能,不能做到大局平面化,而化学机械抛光技能处理了这个问题,它是能够在整个硅圆晶片上***平坦化的工艺技能 ,氧化铝抛光液很好的处理以上的问题,并达到更好的质量要求
高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液:一种用于半导体器件中高介电常数介电材料钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液。该CMP纳米抛光液包含有纳米研磨料、螯合剂、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于新一代高密度存储器(DRAM)电容器介电材料及CMOS场效应管的栅介质——高介电常数介电材料钛酸锶钡的全局平坦化。利用上述纳米抛光液采用化学机械抛光方法平坦化高介电常数介电材料钛酸锶钡,抛光后表面的粗糙度降至0.8nm以下,抛光速率达200~300nm/min;抛光后表面全局平坦度高,损伤较少,是制备超高密度动态存储器(DRAM)及CMOS场效应管时高介电材料平坦化的一***抛光液。本公司销售的纳米抛光液应用范围:透明陶瓷:高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。
蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性,在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。
蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用:
1. 外延片生产前衬底的双面研磨:多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道,根据**终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。
2. LED芯片背面减薄
为解决蓝宝石的散热问题,需要将蓝宝石衬底的厚度减薄,从450nm左右减至100nm左右。主要有两步:先在横向减薄机上,用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度;再用抛光机(秀和、NTS、WEC等)针对不同的研磨盘(锡/铜盘),采用合适的蓝宝石研磨液(水/油性)对芯片背面抛光,从150nm减至100nm左右。
本公司销售的纳米抛光液应用范围:气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。杭州钻石抛光液用途
本公司的纳米抛光液适合高级首饰品抛光以及做抛光蜡原料等。碱性抛光液用途
纳米抛光液应用范围:
1、 透明陶瓷:高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。
2、 化妆品填料。
3、 单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。
4、 **度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。
5、 精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。
6、 涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。
7、 气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。
8、 催化剂、催化载体、分析试剂。
9、 汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。 碱性抛光液用途