苏州本地微振基台加工

时间:2024年05月07日 来源:

2.2.2.11基座与用户的高架地板界面应有8~10mm的隔离缝隙。2.2.2.12针对特殊机台”曝光机”在Anchor周边半径30mm和深度150mm范围内不能有钢筋分布或内部钢结构。2.2.2.13基座需要安装在洁净室二层华夫楼板表面,基座的标准高度为400mm,具体安装完成尺寸需与周边高架地板在同一标高,误差不得大于±2mm。2.2.2.14VC-A、VC-B基座方案基本要求:采用全混凝土结构或半钢结构,半钢结构混凝土高度不低于200mm且钢构高度不低于150mm,完高等于400mm,其余要求见上。2.2.2.15VC-C方案基本要求:混凝土高度400mm,其余要求见上赫政减振基台采用模块化设计,安装方便,能够快速投入使用,提高生产效率。苏州本地微振基台加工

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    1、EQID:2AFC111#栋ARRAY洁净室CVD设备2、防微振等级:承重台3、尺寸:长9096mm*宽9057mm*4004、防微振平台表面导静电环氧自流平,电阻值*104-6Ω5、平整度要求:平整度≤±3mm,whole<±5mm,foot::*≤±2mm,脚位间≤±3mm;6、机台采用标号C30及以上混凝土(商品混凝土)7、开孔需求:有8、满足工艺设备搬入时间:、平台施做前承包商需提前勘察华夫板平整度,若华夫板平整度较差由本承包商提前处理,以确保平**成面与四周高架地板齐平;10、包含不限于高架地板(含基座)拆除并运送至指定位置、华夫板破损环氧修补、防微震平台与高架地板缝隙收边、将防微振平台表面预留静电接地铜箔与洁净室防静电网对接、防微振平台表面平整度测试、防微振平台导静电环氧电阻值测试、防微振平台防震等级测试等。包含如下事项:1、产尘作业搭设洁净棚,配备洁净室**吸尘器;2、施工现场6S维护;3、高架地板拆除后拆除区域铺设防坠网,防微振平台安装前拆除防坠网;4、防微振平台落坑处高架地板脚架增加斜撑补强,材料由甲方提供,承包商负责运输、安装及拆除;5、其他洁净室施工防护措施-洁净施工棚搭建等。 洁净室微振基台制造赫政减振基台主要适用于半导体厂房和芯片厂房等高精密生产环境,能够保证生产设备的稳定性和精度。

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防微振基座平台应满足厌振机器设备清单里各厌振机器设备的防微振要求。即工艺设备隔振基台在投入使用后(动力、工艺等设备运行和人员走动等振源以及基台上设备运行产生的扰动力干扰下)垂直和水平三个方向要求达到的防微振级别均采用国际通用VC曲线振动容许标准,防微振基座平台应具有承受设备自重及其运行时的承载能力。防微振基座平台的台板强度fc≥16N/mm2;台板受荷后挠度:δ≤50μm;基台台板竖向基频:f≥20Hz。防微振基座平台其它要求:①基台需自带支撑系统;②基台应有水平和高度调节功能,调整范围≥±10mm。③基台本身应满足厂房的洁净和防静电要求

微振基台加工高精度数控加工技术:利用高精度的数控机床和数控编程技术,实现微振基台各个部件的精确加工。这包括控制刀具的运动轨迹、切削速度和进给量等,以确保加工精度和表面质量。微振基台加工精密测量与检测技术:通过高精度的测量仪器和检测方法,对微振基台的尺寸、形状、位置等进行精确测量和检测。这有助于确保加工过程中的精度控制,以及产品的合格性。微振基台材料处理与改性技术:针对微振基台所需的材料特性,进行材料选择、处理和改性。这可能包括热处理、表面处理、合金化等技术,以提高材料的硬度、耐磨性、抗腐蚀性等性能。赫政减振基台具有优异的减振效果,能够有效降低设备振动对生产造成的影响。

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减振器直接放置于水泵基础与槽钢支架之间,安装时先在槽钢支架下垫木块,不少于4块,高度要大于减振器,待水泵就位、校正等工作完毕后再将减振器放入,同时卸去木块,调整基座水平。如遇到偏重现象,可移动中间的减振器,此时减振器的分布就不能均匀了。无论安装、调整时基座上升和下降均需缓慢进行。与第一种减振相比在该种减振方式中主要靠阻尼弹簧减振器的弹性来减振,由于没有减振台座的较大质量和惯性,水泵自身的振动较使用减振台座减振剧烈,所以在做好水泵自身减振的同时还要做好与水泵相连接水管的减振。我们的防微振基台具有很好的环保性能,不会对周围环境造成污染。江苏被动式微振基台生产

赫政减振基台具有可调节的减振效果,能够根据不同生产环境和设备要求进行调整,提高生产效率和品质。苏州本地微振基台加工

    防微振基座平台的平面尺寸:①隔振基台需严格按照甲方提供的平面尺寸要求制作,具体要求详见发包文件。②隔振基台主平面应平整,其平整度的容许误差详见发包文件;且应严格控制平面外的弯曲,容许误差为:±2mm。防微振基座平台的平面安装:①隔振基台需严格按照甲方提供的平面布置图定位安装(平面布置图见附件)。平面双方向定位尺寸的容许误差为±5mm。②工艺设备安装完成后隔振基台主平面应与厂房生产区防静电地板表面保持同一标高,容许误差为±2mm。主平面水平度不小于1/1000。防微振基座平台表面的平整度应满足设备厂家的相关要求。。。:应考虑基台下隔振器由于隔振器的串连对精密设备带来的不利影响。 苏州本地微振基台加工

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