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MEMS芯片有1个比较关键的指标，尺寸，能在越小的尺寸上关键性能越优，其应用的场景越***也越有竞争力，也说明生产工艺和技术含量越高，MEMS是一个**的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，但每个公司的技术和生产能力决定了所能生产MEMS芯片的大小，也决定了其应用场景的范围。MEMS芯片是相通的，很多公司不止有一款MEMS芯片，一旦在制程和工艺上**，其他产品是可以很快横向铺开。 山西优良mems芯片哪家强

  航向陀螺仪（directiONalgyroscope）就是利用陀螺特性测量飞机航向的飞行仪表，测量飞机转弯时航向角的变化。由于陀螺自转轴不能自动**经线，因此测量航向需要对自转轴进行校正，并使其稳定在经线方向上，航向指标指示的角就是航向角。   航向陀螺仪的组成   航向陀螺仪主要有陀螺电机、万向支架、随动托架系统、水平修正装置、信号输出装置、输电装置、减震装置、电连接器、外壳等组成。   航向陀螺仪的类型   1、直读式航向陀螺仪，又称陀螺半罗盘。   2、远读式航向陀螺仪，输出飞机航向角变化的信息，供指示器指示或作为陀螺磁罗盘和航向系统的一个主要部件。   航向陀螺仪的功能   1、航向陀螺仪用于陀螺磁罗盘时，用来稳定来自磁航向传感器的磁航向信号。   2、用于陀螺半罗盘时，本身就是**的航向传感器，处处陀螺航向信号。   3、输出有效地信号。   航向陀螺仪的特点   1、具有良好的稳定性。   2、就有较高灵敏度。贵州质量mems芯片

    现在我们可以使数以万计的MEMS芯片（有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工）出现在了每一片wafer上面，如下图所示。这种批量生产（batchcess）的过程目前已经全自动化控制，隔离了人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。纳米技术本身的优势。曾几何时，微米和纳米技术被称为了科技的代言词，但大部分人根本不理解微米和纳米技术是什么。其实对于MEMS传感器来讲，比较大的优势是体积和表面积的比数值小（体积：表面积）。我们都知道体积是跟长度的三次方，而面积是长度的二次方。所以把一个MEMS器件等比例缩小的结果就是体积：表面积会缩小，这样会使得MEMS器件的信噪比增加（也就是有好处）。

    通过以惯性参照系中系统初始方位作为初始条件，对角速率进行积分，就可以时刻得到系统的当前方向。我们现在智能手机上采用的陀螺仪是采用了MEMS微机电技术的MEMS陀螺仪，它需要参考其他传感器的数据才能实现功能，但其体积小、功耗低、易于数字化和智能化，特别是成本低，非常适合手机、汽车牵引控制系统、医疗器材这些需要大规模生产的设备。地磁场传感器磁力计/地磁场传感器，它有个通俗的名字：电子罗盘。当加速度传感器完全水平的时候，可以预料，重力传感器无法分辨出在水平面旋转的角度即绕Z轴的旋转无法显示出来，此时只有陀螺仪可以检测。陀螺仪虽然动态十分快速，但由于其工作原理是积分，所以在静态会有累计误差，表现为角度会一直增加或者一直减少。于是我们会需要一个在水平位置能确认朝向的传感器，这就是如今IMU必备的第三个传感器，地磁场传感器，通过这3个传感器的相互校正，我们终于在大的理论上可以得到比较准确的姿态参数了。气压传感器气压传感器用于检测大气压强的仪器,实际应用当中气压传感器可作高度计。在惯导系统中有时通过增加气压计增强Z轴动态与精度。IMU的工作原理IMU的原理和黑暗中走小碎步很相似。在黑暗中。

MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统 。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个**的智能系统。主要由传感器 、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费 电子、可穿戴 设备、智能家居、系统生物技术 的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

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    用加速度计就够了嘛，为什么一定要用陀螺仪呢？因为加速度计测量的物理量是比力，而非加速度，加速度是通过比力计算得到的。加速度计不能分辨出是地球引力还是运动外力。所以在被测量物体运动的时候将无法得到准确的倾角。这个时候陀螺仪就起作用了，因为陀螺仪对运动加速度不敏感。陀螺仪短时间内计算的角度很准确，但时间长了会产生累计误差，加速度计长时间内的稳定弥补了陀螺仪的短缺。加速度计在运动的情况下测量有误差，陀螺仪对运动不敏感。所以可以用两者的互补关系，来设计一个倾角传感器。那这里面怎么用到PID的性质呢？我们把加速度求得的角度θ作为目标量，我们把陀螺仪积分角度θgyro作为输出量。让陀螺仪角度跟随着加速度角度。设计PI跟随器，调节参数，让陀螺仪积分角度θgyro慢慢跟随加速度计算的角度θ。下图是计算周期为50ms时，kp=，ki=。角速度噪声±。加速度受到运动的影响，角度噪声为±2度。在0秒时以角速度10度/秒运动2秒，在2秒时角速度以-10度/秒运动4秒。下面是6s到10s的放大图。真实角度（蓝色）为-21度，陀螺仪积分角度（紫色）漂移了2度左右，加速度计计算角度（绿）噪声为±2度，组合角度（红。山西优良mems芯片哪家强

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